常見(jiàn)的半導(dǎo)體材料有哪些 常見(jiàn)的半導(dǎo)體材料有哪些
2022-03-07 天奇生活 【 字體:大 中 小 】
常見(jiàn)的半導(dǎo)體材料有硅、鍺,化合物半導(dǎo)體,如砷化鎵等;摻雜或制成其它化合物半導(dǎo)體材料,如硼、磷、錮和銻等。半導(dǎo)體材料(semiconductor material)是一類(lèi)具有半導(dǎo)體性能(導(dǎo)電能力介于導(dǎo)體與絕緣體之間,電阻率約在1mΩ·cm~1GΩ·cm范圍內(nèi))、可用來(lái)制作半導(dǎo)體器件和集成電路的電子材料。
半導(dǎo)體材料的應(yīng)用
半導(dǎo)體材料的早期應(yīng)用:半導(dǎo)體的第一個(gè)應(yīng)用就是利用它的整流效應(yīng)作為檢波器,就是點(diǎn)接觸二極管(也俗稱貓胡子檢波器,即將一個(gè)金屬探針接觸在一塊半導(dǎo)體上以檢測(cè)電磁波)。除了檢波器之外,在早期,半導(dǎo)體還用來(lái)做整流器、光伏電池、紅外探測(cè)器等,半導(dǎo)體的四個(gè)效應(yīng)都用到了。從1907年到1927年,美國(guó)的物理學(xué)家研制成功晶體整流器、硒整流器和氧化亞銅整流器。1931年,蘭治和伯格曼研制成功硒光伏電池。1932年,德國(guó)先后研制成功硫化鉛、硒化鉛和碲化鉛等半導(dǎo)體紅外探測(cè)器,在二戰(zhàn)中用于偵測(cè)飛機(jī)和艦船。二戰(zhàn)時(shí)盟軍在半導(dǎo)體方面的研究也取得了很大成效,英國(guó)就利用紅外探測(cè)器多次偵測(cè)到了德國(guó)的飛機(jī)。
今天,半導(dǎo)體已廣泛地用于家電、通訊、工業(yè)制造、航空、航天等領(lǐng)域。1994年,電子工業(yè)的世界市場(chǎng)份額為6910億美元,1998年增加到9358億美元。而其中由于美國(guó)經(jīng)濟(jì)的衰退,導(dǎo)致了半導(dǎo)體市場(chǎng)的下滑,即由1995年的1500多億美元,下降到1998年的1300多億美元。經(jīng)過(guò)幾年的徘徊,目前半導(dǎo)體市場(chǎng)已有所回升。
制備不同的半導(dǎo)體器件對(duì)半導(dǎo)體材料有不同的形態(tài)要求,包括單晶的切片、磨片、拋光片、薄膜等。半導(dǎo)體材料的不同形態(tài)要求對(duì)應(yīng)不同的加工工藝。常用的半導(dǎo)體材料制備工藝有提純、單晶的制備和薄膜外延生長(zhǎng)。
半導(dǎo)體材料所有的半導(dǎo)體材料都需要對(duì)原料進(jìn)行提純,要求的純度在6個(gè)“9”以上,最高達(dá)11個(gè)“9”以上。提純的方法分兩大類(lèi),一類(lèi)是不改變材料的化學(xué)組成進(jìn)行提純,稱為物理提純;另一類(lèi)是把元素先變成化合物進(jìn)行提純,再將提純后的化合物還原成元素,稱為化學(xué)提純。物理提純的方法有真空蒸發(fā)、區(qū)域精制、拉晶提純等,使用最多的是區(qū)域精制。化學(xué)提純的主要方法有電解、絡(luò)合、萃取、精餾等,使用最多的是精餾。由于每一種方法都有一定的局限性,因此常使用幾種提純方法相結(jié)合的工藝流程以獲得合格的材料。
絕大多數(shù)半導(dǎo)體器件是在單晶片或以單晶片為襯底的外延片上作出的。成批量的半導(dǎo)體單晶都是用熔體生長(zhǎng)法制成的。直拉法應(yīng)用最廣,80%的硅單晶、大部分鍺單晶和銻化銦單晶是用此法生產(chǎn)的,其中硅單晶的最大直徑已達(dá)300毫米。在熔體中通入磁場(chǎng)的直拉法稱為磁控拉晶法,用此法已生產(chǎn)出高均勻性硅單晶。在坩堝熔體表面加入液體覆蓋劑稱液封直拉法,用此法拉制砷化鎵、磷化鎵、磷化銦等分解壓較大的單晶。懸浮區(qū)熔法的熔體不與容器接觸,用此法生長(zhǎng)高純硅單晶。水平區(qū)熔法用以生產(chǎn)鍺單晶。
水平定向結(jié)晶法主要用于制備砷化鎵單晶,而垂直定向結(jié)晶法用于制備碲化鎘、砷化鎵。用各種方法生產(chǎn)的體單晶再經(jīng)過(guò)晶體定向、滾磨、作參考面、切片、磨片、倒角、拋光、腐蝕、清洗、檢測(cè)、封裝等全部或部分工序以提供相應(yīng)的晶片。
在單晶襯底上生長(zhǎng)單晶薄膜稱為外延。外延的方法有氣相、液相、固相、分子束外延等。工業(yè)生產(chǎn)使用的主要是化學(xué)氣相外延,其次是液相外延。金屬有機(jī)化合物氣相外延和分子束外延則用于制備量子阱及超晶格等微結(jié)構(gòu)。
非晶、微晶、多晶薄膜多在玻璃、陶瓷、金屬等襯底上用不同類(lèi)型的化學(xué)氣相沉積、磁控濺射等方法制成。
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